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氣(qi)體流量監測(cè)傳感器

産品簡介:

FS4001系(xi)列 氣體流量(liàng)監測傳感器(qì) 是專門(men)爲各類小流(liú)量氣體的測(ce)量和過程控(kòng)制而設計的(de)。這一系列傳(chuán)感器均采用(yong)本公司自主(zhǔ)研發的微機(jī)電系統( MEMS )流量傳感芯(xin)片來制作。

FS4001系(xi)列 氣體流量(liang)監測傳感器(qi) 适用于(yu)各類清潔氣(qì)體。*的封裝技(jì)術使之可用(yòng)于各類管徑(jìng),成本低、易安(ān)裝、不需要溫(wēn)度壓力補償(cháng),可替代容積(ji)式或壓差式(shi)的傳統流量(liang)傳感器。

機(jī)械尺寸:


主要參(cān)數:

性能參數(shù)

FS4001

單位

通 徑

1.8

mm

大(da)流量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比(bi)

>100:1

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重複性(xing)

0.25

%讀數

零點輸(shū)出飄移

±30

mV

輸出(chu)飄移

±0.12

%/oC

工作電源(yuán)

8~18Vdc,50mA

 

線(xian)性,RS232/模拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc

 

大流量壓損(sun)

350

300

pa

大工作壓力(li)

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

存(cun)儲溫度

-20 ~ +65

oC

工作(zuo)濕度

<95%RH(無結冰(bīng)、無凝露)

 

機械(xie)接口

可拆式(shì)軟管接頭

 

校(xiào)準方式

空氣(qì)(或其他氣體(tǐ)),20oC,101.325kPa

 

g

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