FS4000微型(xíng)空氣流量傳感(gǎn)器

簡(jiǎn)要描述：

FS4000微型空(kōng)氣流量傳感器(qi)是采用微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳感(gǎn)器技♍術和🔞智能(neng)電子控制技術(shù)，專爲普通氣體(tǐ)流量監測開💛發(fā)的産品。該傳感(gan)器能直接測量(liang)氣體質量流量(liang)，低壓損。适用于(yu)🔅淨化空氣或氮(dàn)氣流量監控，還(hái)可用于環境采(cai)樣器（如色譜分(fèn)析儀器🔞等）

詳細介紹

FS4003流量(liang)傳感器，管道内(nei)徑爲3mm，成本低測(cè)量範圍大到5SLPM；适(shi)用于粒子計數(shu)器和各類分析(xī)儀器。

FS4008流量傳感(gan)器，管道内徑爲(wei)8mm，測量範圍大到(dao)50SLPM；可用于麻🌍醉設(she)備、潔淨氣體檢(jiǎn)測，如：空氣采樣(yang)機，氣體分析儀(yí)等

FS4000微型空氣流(liu)量傳感器産品(pǐn)特點:

- 專爲管徑(jìng)3mm和8mm的氣管中的(de)低壓氣體流量(liàng)測量而設計

- 傳感芯片(pian)采用熱質量流(liú)量計量，無需溫(wen)度壓力補償，保(bao)證了傳感器的(de)高精度計量

- 在(zài)單個芯片上實(shi)現了多傳感器(qì)集成，使其量程(cheng)比達到了100:1甚㊙️至(zhì)更高

- 零點穩定(dìng)度高

- 全量程高(gao)穩定性、高精确(que)度和優良的重(zhong)複性

- 低功耗、低(di)壓損

- 響應速度(dù)快

性能參數(shu)	FS4003	FS4008	單位
通徑	3	8	mm
大流(liu)量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
量程比	＞100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.5		%
零(líng)點輸出飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移	0.12		%/^oC
響應時(shi)間	10（默認、20、50、100、200、500、1000可設置）		ms
工作(zuò)電源	8~24Vdc,50mA
輸出方式	線性(xìng)，RS232/模拟電壓0.5~4.5Vdc
大流(liu)量壓損	100	600	pa
大工作(zuò)壓力	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		^oC
存儲溫度	-20 ~ +65		^oC
工作(zuò)濕度	<95%RH（無結冰、無(wú)凝露）
機械接口(kou)	BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭
校準(zhun)方式	空氣（或其(qi)他氣體），20^oC，101.325kPa
重量	52（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶(dài)6mm快速接頭)		g

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