FS4001系(xi)列小流量(liang)氣體質量(liàng)流量傳感(gan)器

産品時(shí)間：2025-12-01

簡要描(miao)述：

FS4001系列小(xiao)流量氣體(ti)質量流量(liang)傳感器是(shì)專門爲各(gè)類小流量(liàng)氣體的測(ce)量和過程(chéng)控制而設(she)計的。這一(yī)系列傳感(gǎn)器🈲均采用(yòng)本公司自(zì)主研發的(de)微機電系(xì)統（MEMS）流量傳(chuán)🛀感芯片來(lái)制作，适用(yòng)于各類清(qīng)潔氣體。*的(de)封裝技術(shu)使之可用(yong)于各類管(guǎn)徑，成本低(dī)、易安裝、不(bu)需要溫度(dù)壓力補償(cháng)，可替代容(róng)積式或壓(ya)差式的傳(chuan)統流量傳(chuán)感器。

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詳細(xì)介紹

産品(pin)簡介：

FS4001系列(lie)小流量氣(qì)體質量流(liu)量傳感器(qi) 是專門爲(wei)各類小流(liú)量氣體的(de)測量和過(guo)程控制而(ér)設計的。這(zhe)一系列傳(chuán)感器均采(cai)用本公司(sī)自主研發(fā)的微機電(diàn)系統（MEMS）流量(liàng)傳感芯片(piàn)來制作，适(shì)用于各類(lei)清潔氣體(tǐ)。*的封裝技(ji)術使之可(kě)用于各♈類(lei)管徑，成本(ben)🍓低、易安裝(zhuāng)、不需要溫(wen)度壓力補(bu)償，可替代(dài)容積式或(huò)💃壓差式的(de)傳統流量(liàng)傳感器。

FS4001系列小(xiao)流量氣體(tǐ)質量流量(liàng)傳感器 靈(ling)敏度高,有(yǒu)小的始動(dong)流量傳感(gǎn)器芯片采(cai)用熱質量(liàng)流⛱️量🌂計量(liàng),無需溫度(du)壓力補償(chang),保證了傳(chuán)感器的高(gao)精度計量(liang)在單個🌈芯(xin)片上實現(xiàn)了多傳感(gan)器集成🏒,使(shǐ)傳感✊器的(de)量程比大(da)大提高傳(chuan)感器的零(ling)點穩定度(dù)高全量程(chéng)高穩定性(xing)全量程高(gao)精确度和(hé)優良的重(zhong)複性低功(gōng)耗低壓損(sǔn)響應時間(jian)快
主要參(can)數：

性能參(can)數	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精(jing) 度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xìng)	0.25		%讀數
零點(diǎn)輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出飄移(yí)	±0.12		%/oC
響應時間(jian)	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式(shi)	線性，RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc
大流(liu)量壓損	350	300	pa
大(da)工作壓力(lì)	0.5		MPa
工作溫度(du)	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度(du)	<95%RH（無結冰、無(wu)凝露）
機械(xie)接口	可拆(chai)式軟管接(jiē)頭
校準方(fāng)式	空氣（或(huò)其他氣體(tǐ)），20oC，101.325kPa
重量	15		g