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氣體檢測/測漏(lòu)流量計

産品時(shí)間:2025-12-01

簡要描述:

氣(qi)體檢測/測漏流(liu)量計傳感器靈(ling)敏度高,有極小(xiǎo)的始動流量
- 傳(chuan)感器芯片采用(yòng)熱質量流量計(ji)量,無需溫度壓(yā)力補償♌,保證了(le)傳
- 感器的高精(jing)度計量
- 在單個(ge)芯片上實現了(le)多傳感器集成(cheng),使傳感器的量(liàng)程👄比大大提高(gao)
- 傳感器的零點(diǎn)穩定度高 全量(liang)程高穩定性

産品簡介(jie):
FS4001系列小流量氣(qì)體質量流量傳(chuán)感器是專門爲(wèi)各類💜小流量氣(qi)體🥵的測量和過(guò)程控制而設計(ji)的。這一系列傳(chuán)㊙️感器均采🥰用本(ben)公司自主研發(fa)的微機電系統(tong)(MEMS)流量傳感芯片(piàn)來制作,适用于(yu)各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shǐ)之可用于各類(lei)管徑,成本低、易(yì)安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償,可(ke)替代👨‍❤️‍👨容積式或(huò)壓💰差式的傳統(tǒng)🤟流量傳感器。

氣(qì)體檢測/測漏流(liú)量計産品特點(diǎn):
  - 傳感器靈敏度(du)高,有極小的始(shǐ)動流量
  - 傳感器(qi)芯片采用熱質(zhi)量流量計量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
  - 感(gǎn)器的高精度計(ji)量
  - 在單個芯片(pian)上實現了多傳(chuan)感器集成,使傳(chuan)感器的量程比(bi)㊙️大大提高
  - 傳感(gǎn)器的零點穩定(ding)度高
  - 全量程高(gao)穩定性
  - 全量程(cheng)高精确度和優(yōu)良的重複性
  - 低(dī)功耗
  - 低壓損
  - 響(xiǎng)應時間快


主要(yào)參數:

性能參數(shu)

FS4001

單位

通 徑

1.8

zui大流(liú)量

30, 100, 200

500, 1000

SLPM

量程比

2132132132131231312100:1

精 度(dù)

±(1.5+0.2FS)

%

零(ling)點輸出飄移

±30

mV

輸(shū)出飄移

±0.12

%/oC

響應時(shí)間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源

8~18Vdc,50mA


zui大流量(liang)壓損

300

pa

zui大工作壓(ya)力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

工作濕(shī)度

<95%RH(無結冰、無凝(níng)露)


機械接口

可(kě)拆式軟管接頭(tóu)


校準方式

空氣(qi)(或其他氣體),20oC,101.325kPa


重(zhong)量

15

g

 

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